Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) является методом наблюдения между просвечивающей электронной микроскопией (ПЭМ) и оптической микроскопией.
Она сканирует образец узконаправленным пучком электронов высокой энергии и возбуждает различные вещества посредством взаимодействия между пучком и веществом. Информация собирается, усиливается и повторно отображается для достижения цели характеристики микроскопической морфологии материала. Придерживаясь целей проектирования удобной эксплуатации, быстрой визуализации и стабильной работы, OPTO-EDU независимо разработала настольный сканер с вольфрамовой нитью. Сканирующий электронный микроскоп A63.7001имеетбыструю скорость сканированияи полосу пропускания сбора сигнала 10M, что позволяет плавно и в реальном времени отображать образцы в видеорежиме. Все операции можно выполнить с помощью мыши, и нет необходимости в сложных шагах, таких как центрирование диафрагмы. После фокусировки и устранения астигматизма можно сразу делать снимки. Хост интегрирует высокое напряжение и систему управления, небольшие размеры, легко перемещается, не требует специальной среды для установки, просто найдите стол, подключите питание, и вы можете начать работу. |
Основные характеристики: 1. Ускоряющее напряжение: 5 кВ/10 кВ/15 кВ 2. Тип электронной пушки: предварительно выровненная вольфрамовая нить, срок службы 100 часов, легко заменяется пользователем, высокоинтегрированная двухступенчатая линза пушки, нет необходимости вручную регулировать диафрагму объектива. 3. Увеличение ≥150000X; 4. Разрешение:≤10 нм при 15 кВ 5. Детектор: детектор вторичных электронов (SE), четырехканальный детектор обратного рассеяния (BSE), 6. Столик: 2-осевой моторизованный столик XY, перемещение 40x30 мм (опционально 40x40 мм); 7. Максимальный размер образца: 80x42x40 мм 8. Время замены образца и откачки высокого вакуума ≤ 90 с. 9. Система высокого вакуума: встроенный турбомолекулярный насос, внешний механический насос, вакуум в камере образца ≥1x10-1 Па, полностью автоматическое управление; 10. Видеорежим ≥512x512 пикселей, нет необходимости в сканировании в маленьком окне. 11. Режим быстрого сканирования: время визуализации ≤3 с, 512x512 пикселей. 12. Режим медленного сканирования: время визуализации ≤40 с, 2048x2048 пикселей. 13. Файл изображения: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Автоматическая регулировка яркости и контрастности в одно касание, автофокусировка. 15. Функция навигации: навигация с помощью оптической камеры и камеры в кабине. 16. Функция измерения изображения: расстояние, угол и т. д. 17. Включая компьютер и программное обеспечение, управление мышью. 18. Дополнительно: --Вольфрамовая нить (20 шт./коробка) --EDS 19. Размер микроскопа: 283*553*505 мм, размер механического насоса 340*160*140 мм |
Модель | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Разрешение | 10 нм при 15 кВ | 6 нм при 18 кВ | 4 нм при 20 кВ | 3 нм при 20 кВ | 2,5 нм при 15 кВ |
Увеличение | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Электронная пушка | Вольфрам | Вольфрам | Вольфрам | LaB6 | Schotty FEG |
Напряжение | 5/10/15 кВ | 3-18 кВ | 3-20 кВ | 3-20 кВ | 1-15 кВ |
Детектор | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
Навигация CCD | CCD | CCD | CCD+Камерa в кабине | CCD+Камерa в кабине | CCD+Камерa в кабине |
Время вакуумирования | 90 с | 90 с | 30 с | 90 с | 180 с |
Вакуумная система | Механический насос Молекулярный насос |
Механический насос Молекулярный насос |
Механический насос Молекулярный насос |
Механический насос Молекулярный насос Ионный насос |
Механический насос Молекулярный насос Ионный насос x2 |
Вакуум | Высокий вакуум 1x10-1 Па |
Высокий вакуум 1x10-1 Па |
Высокий вакуум 1x10-1 Па |
Высокий вакуум 5x10-4 Па |
Высокий вакуум 5x10-4 Па |
Столик | Столик XY, 40x30/40x40 мм |
Столик XY, 40x30/40x40 мм |
Столик XY, 60x55 мм |
Столик XY, 60x55 мм |
Столик XY, 60x55 мм |
Точность столика | - | Точность позиционирования 5 мкм | |||
Рабочее расстояние | 5-35 мм | 5-35 мм | 5-73,4 мм | 5-73,4 мм | 5-73,4 мм |
Максимальный образец | 80x42x40 мм | 80x42x40 мм | 100x78x68,5 мм | 100x78x68,5 мм | 100x78x68,5 мм |
Дополнительно | Вольфрамовая нить 20 шт./коробка | Lab6 Filament | Лампа полевой эмиссии | ||
EDS Oxford AZtecOne с XploreCompact 30 | |||||
- | Низкий вакуум 1-100 Па | Низкий вакуум 1-30 Па | |||
- | Z-осевой модуль | 3-осевой столик, X 60 мм, Y 50 мм, Z 25 мм | |||
- | T-осевой модуль | 3-осевой столик, X 60 мм, Y 50 мм, T ±20° | |||
- | - | 5-осевой столик, X 90 мм, Y 50 мм, Z 25 мм, T ±20°, R 360° | |||
- | - | Виброизолирующая платформа, для 3-осевого, 5-осевого столика | |||
- | Режим замедления 1-10 кВ для наблюдения непроводящих образцов, только для BSE | ||||
- | Внутрикамерный столик от оригинальной фабрики, нагрев, охлаждение, растяжение и т. д. | ||||
ИБП |