Спецификация | А63.7140 | А63.7160 | |
Ключевые параметры | Резолюция | 0.9nm@30kV(SE) 1.4nm@15kV ((SE) |
0.9nm@30kV(SE) 1.2nm@15kV ((SE) 1.5nm@1kV(SE, режим BD) |
Ускоряющее напряжение | 00,02 кВ~30 кВ | 00,02 кВ~30 кВ | |
Увеличение | 1~2000000x | 1~2000000x | |
Электронная пушка | Пистолет с тепловым полем Schottky | Пистолет с тепловым полем Schottky | |
Ток зонда | 1pA~40nA | 1pA~40nA | |
Поле зрения | 6 мм | 6 мм | |
Время пребывания | 20 нс | 20 нс | |
Уклонение луча | - Я... | Система отклонения двойного луча: Электромагнитная и статическая гибридная система отклонения луча |
|
Объектив | Система двойных целей: Магнитная объективная линза и электростатическая объективная линза, магнитный образец адаптивный |
Система двойных целей: Магнитная объективная линза и электростатическая объективная линза, магнитный образец адаптивный |
|
Огнестрельное отверстие | (10μm, 30μm, 70μm, 100μm, 150μm, 220μm) * 2 комплекта (1 для резервного копирования), моторное движение | (10μm, 30μm, 70μm, 100μm, 150μm, 220μm) * 2 комплекта (1 для резервного копирования), моторное движение | |
Палата | Размер камеры | Ширина 370 мм, высота 330 мм, глубина 344 мм | Ширина 370 мм, высота 330 мм, глубина 344 мм |
Порт расширения | 10 Порты | 10 Порты | |
Вакуумная система | 2 Ионный насос 1 Турбомолекулярный насос 1 Без масла для механического насоса |
2 Ионный насос 1 Турбомолекулярный насос 1 Без масла для механического насоса |
|
Вакуум пистолета: 2x10-7Pa Вакуум камеры: 6x10-4Pa |
Вакуум пистолета: 2x10-7Pa Вакуум камеры: 6x10-4Pa |
||
Этап | 5 осей Авто-Стадия, X:130 мм, Y:130 мм, Z:60 мм, R: 360°, T: -10°~70°, максимальная нагрузка > 500 г | 5 осей Авто-Стадия, X:130 мм, Y:130 мм, Z:60 мм, R: 360°, T: -10°~70°, максимальная нагрузка > 500 г | |
Камера | Оптическая цветовая навигация CCD ИР-ККД высокой четкости |
Оптическая цветовая навигация CCD ИР-ККД высокой четкости |
|
Детекторы и расширения | Стандартный | Детектор SE | Детектор SE Детектор внутренней линзы SE |
ПК и программное обеспечение | Компьютер | Рабочая станция, память 16G, жесткий диск 512G, 24-дюймовый монитор, система Win10 | Рабочая станция, память 16G, жесткий диск 512G, 24-дюймовый монитор, система Win10 |
Контроль | Панель управления и джойстик | Панель управления и джойстик | |
Программа | Автофокус, автостигматитор, контраст яркости, формат изображения TIFF,JPG,PNG,BMP, разрешение вывода изображения Max 16k*16k | Автофокус, автостигматитор, контраст яркости, формат изображения TIFF,JPG,PNG,BMP, разрешение вывода изображения Max 16k*16k | |
Факультативные аксессуары | А50.7101 | ВИЧ | ВИЧ |
А50.7102 | - | InLens BSE | |
А50.7103 | Энергодисперсная спектроскопия (EDS/EDX) | Энергодисперсная спектроскопия (EDS/EDX) | |
А50.7104 | Дифракционный шаблон электронного обратного рассеяния (EBSD) | Дифракционный шаблон электронного обратного рассеяния (EBSD) | |
А50.7105 | EDS+EBSD | EDS+EBSD | |
А50.7106 | Скан-электронная передача (STEM) | Скан-электронная передача (STEM) | |
А50.7107 | Электронно-лучевой ток (EBIC) | Электронно-лучевой ток (EBIC) | |
А50.7108 | Катодолюминесценция (CL) | Катодолюминесценция (CL) | |
А50.7109 | Плазма | Плазма | |
А50.7110 | Воздушный шлюз, склад для обмена образцами | Воздушный шлюз, склад для обмена образцами | |
А50.7111 | Стержневой пульт | Стержневой пульт | |
А50.7120 | Программное обеспечение для сшивания больших изображений | Программное обеспечение для сшивания больших изображений | |
А50.7121 | Программное обеспечение для анализа частиц | Программное обеспечение для анализа частиц | |
А50.7112 | Подъемник для передачи вакуума | Подъемник для передачи вакуума | |
А50.7113 | Коррелятивная система Рамана-SEM | Коррелятивная система Рамана-SEM | |
А50.7115 | УВС | УВС | |
А50.7114 | - | Встроенный энергетический монтажник колонны ExB |
▶Сильная совместимость, высокая адаптивность Может быть установлен на различных терминалах, таких как компьютеры, мобильные телефоны и планшеты, для управления электронным микроскопом;Эта операционная система электронного микроскопа SEM-OS совместима с SEM различных производителей и совместима с несколькими моделями, расширение экосистемы SEM
▶Интегрированное программное обеспечение и вычисления, простое и эффективное унифицированный пользовательский интерфейс, без необходимости многократных адаптаций к различным терминалам;Оборудовано алгоритмами ИИ для сбора информации и представления эффектов вывода в режиме реального времени с более четким качеством изображения и более яркими деталями; SEM на базе ядра ускоряет управление оборудованием |
1 панель меню, 2 область быстрой работы, 3 панель данных, 4 область мониторинга, 5 область навигации, 6 область всеобъемлющей работы, 7 область работы, 8 область статуса |
Сканирующий электронный микроскоп серии A63.7140/A63.7160 оснащен вакуумными переносными стержнями IGS, энергетическими спектрометрами EDS, спектроскопией Рамана и другими аксессуарами.предоставление комплексного решения для исследования литийных батарей от подготовки образцов, морфологическое наблюдение, анализ состава и структурный анализ. |
Шаг 1:Переводный стержень загружается на перчаточную коробку для завершения передачи образца из перчаточной коробки в отделение для перчаточных стержней.
Шаг 2:Процесс переноса образца включает в себя перенос положительного давления в камеру с прутом во время процесса переноса.
Шаг 3:Трансферный стержень загружается на электронный микроскоп, чтобы перенести образец из камеры трансферного стержня в главную камеру электронного микроскопа.
Шаг 4:Снимание образцов и послепроцессирование данных, индивидуальная разработка в соответствии с потребностями пользователя.
▶SEM + EDS спектрометр + вакуумный переносный стержень + спектроскопия Рамана + программное обеспечение для анализа
Структурный анализ. Анализ механизма. Высокая точность таблицы сдвига. ▪ Проанализируйте молекулярный состав, который не может быть выполнен с помощью ЭДС, и полностью изучите состав образца ▪ Быстрое переключение между оптической осью Рамана и оптической осью электронного луча, многомерный анализ характеристик образца и отслеживание в режиме реального времени. Структурная эволюция материалов во время процессов зарядки и разгрузки и углубленное изучение их механизмов поддержки ▪ Большой удар высокой точности высокой скорости пьезоэлектрический керамический стол с перемещением, достигающий интегрированного сбора данных в одном и том же положении,встреча Анализ стабильности долгосрочной конфокальной поверхности Рамана |