|
▶A64.5401 отличает 1) Программному обеспечению измерения и анализа с интегрированной деятельностью не нужно переключить интерфейс для деятельности, и параметры конфигурации установленные заранее перед измерением. Программное обеспечение автоматически считает данные по измерения и обеспечивает функцию экспорта отчете о данных, которая может быстро осуществить функцию измерения серии. 2) Обеспечьте автоматическую функцию измерения мульти-зоны, измерение серии, автоматический фокус, автоматическую регулировку яркости и другие автоматические функции. 3) Функция измерения Provide шить. 4) Обеспечьте функции введенной информачии 4 модулей регулировки положения, коррекции, фильтровать и извлечения. Регулировка положения включает функции как изображение выравнивая и отражая; коррекция включает функции как пространственный фильтровать, ретушировать, и пиковый denoising; фильтровать включает функции как удаление формы, стандарт фильтруя, и спектральный фильтровать; извлечение включает функции как извлечение регионов и извлечение профилей. 5) Обеспечьте 5 главных функций анализа включая геометрический анализ профиля, анализ шершавости, анализ структуры, анализ частоты и анализ функции. Среди их, геометрический анализ профиля включает особенности как высота шага, расстояние, угол, погнутость и другие функции, и прямота, оценка допуска округлости и другие функции; анализ шершавости включает линию шершавость согласно международным стандартам ISO4287, ISO25178 шероховатости поверхности, ISO12781 выравнивая степень и другие функции анализа полно-параметра; структурный анализ включает том поры и глубину ринва, etc.; анализ частоты включает функции как направление текстуры и анализ спектра; функциональный анализ включает функции как параметры SK и параметры тома. 6) Обеспечьте вспомогательные функции анализа как анализ одн-ключа и многофайловый анализ, установленные шаблоны анализа, совмещенные с автоматическими функциями измерения и измерения серии обеспеченными в измерении, оно может осуществить измерение серии размером с небольш приборов точности и сразу получить данные по анализа. |
|
Confocal микроскоп испытывая аппаратура используемая для измерения нанометра различных приборов и материалов точности. Он основан на принципе confocal технологии, совмещенном с пористой технологией параллельной сканирования диска, точным модулем сканирования Z-направления, 3D моделируя алгоритм, etc. для того чтобы выполнить внеконтактную сканирование на поверхности прибора и установить поверхностное изображение 3D. Изображение 3D поверхности прибора выполнено через системное программное обеспечение. Преобразование данных и анализ, и получите 2D и параметры 3D отражая качество поверхности прибора, для того чтобы осуществить оптически аппаратуру осмотра для измерения 3D поверхностной топографии прибора. |
| Confocal лист технических данных микроскопа A64.5401 | ||
| Измеряя принцип | Confocal оптическая система | |
| Линзы объектива микроскопа | 10× (стандарт), 20×, 50×, 100× (опционные) | |
| Область видимости | 160×160 μm~1.6×1.6 mm | |
| Просматривая рамка rate*1 | ≥10HZ | |
| Измерение высоты | Repeatability*2 | 20×: 40nm; 50×: 20nm; 100×: 20nm |
| Accuracy*2 | μm ± (0.2+L/100) | |
| Разрешение дисплея | 0.5nm | |
| Измерение ширины | repeatability*3 | 20×: 100nm; 50×: 50nm; 100×: 30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| Разрешение дисплея | 1nm | |
| XY платформа смещения | размер | 210×210 mm |
| Двигая ряд | 100×100 mm | |
| Нагрузка | 10kg | |
| Метод контроля | электрический | |
| ряд движения Z-направления | 100 mm | |
| Башня линз объектива | 5-hole моторизовало | |
| Освещение | источник света | СИД |
| Максимальный выпуск продукции | 840mW | |
| Размеры | 590×390×540mm | |
| Полный вес | 45kg | |
| Электропитание | AC220V/50Hz | |
| Рабочая Среда | Температура 10℃~35℃, минуты /15 <1>℃ температурного градиента, влажность 30~80%, вибрация <0> | |
| Извещение: *1 используют объектив 20x для того чтобы измерить блок образца шага стандарта 4.7µm на температуре окружающей среды 20±2°C. *2 измеряют блок образца шага стандарта 4.7µm на температуре окружающей среды 20±2°C с объективом 20 раз или больше. *3 используют объектив 20 раз или больше для того чтобы измерить стандартный образец перекрещения на температуре окружающей среды 20±2°C. |
||
| Спецификации линз объектива | Модельная апертура расстояния деятельности области видимости (W.D.) численная (N.A.) | |
| μm 10,6 mm 0,25 10X 1600×1600 | ||
| μm 1,3 mm 0,40 20X 800×800 | ||
| μm 0,38 mm 0,75 50X 320×320 | ||
| μm 0,21 mm 0,90 100X 160×160 | ||
| Список конфигурации продукта Стандартная конфигурация: |
1) Основной корпус A64.5401 | |
| 2) XY этап смещения: автоматический этап смещения | ||
| 3) Компьютер бренда | ||
| 4) Модуль тарировки системы | ||
| 5) Кнюппель | ||
| 6) Confocal программное обеспечение микроскопа | ||
| 7) Коробка аксессуаров аппаратуры | ||
| 8) Руководство продукта | ||
| 9) Сертификат продукта, карта гарантии | ||
| Опционный | 1) Измеряя линзы объектива: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Таблица всасывания вакуума (для вафель полупроводника): 6 дюймов, 8 дюймов; | ||
| 3) Модуль функции измерения автоматического измерения соединяя (требует поддержки оборудования) | ||
|
Выполните поверхностные особенности топографии как поверхностные контуры, дефекты поверхности, несите условия, условия корозии, плоскостность, шершавость, waviness, зазоры поры, высоты шага, гнуть деформации, и условия обработки различных продуктов, компонентов и материалов. Измерение и анализ. |
|
▶4,1 высокая точность и высокая повторимость Измерительная система составленная малошумных отображая датчиков, высокопроизводительных оптически компонентов и кодировщиков, и превосходных алгоритмов реконструкции 3D для обеспечения измерения которое соотвествует; укорененный в индустрии измерения в течение многих лет, такой же линии проектирования промышленного объекта и верхнем обрабатывая уровне для обеспечения высокому уровню повторимости измерения. |
|
▶4,2 высокоскоростная параллельная сканирование Многопунктовая параллельная сканирование профиля используя пористый диск значительно улучшает эффективность работы сравненную с традиционной одноточечной просматривая схемой гальванометра, и сканирование можно выполнить в только немного секунд. |
|
▶4,3 сильная приспособляемостьь Измерительная система имеет ультравысокий динамический диапазон для различных представлений образца, сложности поверхности, и поверхностной отражательной способности.
▶4,4 интегрированное программное обеспечение измерения и анализа 1) Измерение и анализ эксплуатируются на таком же интерфейсе, без переключения, данные по измерения автоматически сосчитаны, и осуществлена функция быстрого измерения серии; 2) Визуальное окно удобно для потребителей для того чтобы наблюдать просматривая процессом в реальное временя; 3) Совмещенный с автоматической функцией измерения изготовленного на заказ шаблона анализа, оно может автоматически выполнить процесс измерения и анализа мульти-региона; 4) 5 функциональных модулей геометрического анализа, анализа шершавости, анализа структуры, анализа частоты, и анализа функции закончены; 5) анализ Одн-щелчка, многофайловый анализ, свободно совмещенные детали анализа сохранен как шаблоны анализа, анализ одн-щелчка образцов серии, и обеспечены функции анализа данных и статистически диаграммы; 6) Больше чем 300 2D и параметры 3D можно измерить согласно ISO/ASME/EUR/GBT и другим стандартам. |
|
▶4,5 кнюппель точности Кнюппель интегрированный с функцией регулировки смещения в 3 направлениях x, y, и z может быстро выполнить работу пре-измерения как перевод этапа и фокусировать Z-направления.
▶дизайн 4,6 Анти--столкновений Избегите повреждения к линзам объектива и объекту для того чтобы быть измеренные должными к столкновению причиненному Misoperation.
▶4,7 полностью электрический микроскоп Оборудованный с серией электрических частей, эти близко соединенные электрические части работают совместно для того чтобы сделать замечание быстрый и простой. |
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
