| A63.7080, A63.7081 Основная функция программного обеспечения | ||
| Комплексный ввод в эксплуатацию высокого напряжения | Автоматическое включение/выключение нити | Возможное регулирование смены |
| Регулировка яркости | Электрическая центральная регулировка | Автоматическая яркость |
| Регулировка контрастности | Регулировка объектива | Автофокус |
| Регулировка увеличения | Объективное размагничивание | Автоматическое устранение астигматизма |
| Режим сканирования выбранной области | Электрическая регулировка вращения | Управление параметрами микроскопа |
| Режим сканирования точек | Регулировка смещения электронного луча | Отображение в реальном времени размера поля сканирования |
| Режим строчной развертки | Регулировка наклона электронного луча | Регулировка объектива пистолета |
| Сканирование поверхности | Регулировка скорости сканирования | Многоканальный вход |
| Мониторинг мощности высокого напряжения | Центрирование поворота | Измерение линейки |
| СЭМ | А63.7069 | А63.7080 | А63.7081 |
| Разрешение | 3 нм при 30 кВ (ЮВ) 6 нм @ 30 кВ (BSE) |
1,5 нм при 30 кВ (ЮВ) 3нм@30кВ(БСЭ) |
1,0 нм при 30 кВ (SE) 3,0 нм при 1 кВ (SE) 2,5 нм при 30 кВ (BSE) |
| Увеличение | 8x~300000x Отрицательное истинное увеличение | 8x~800000x Отрицательное истинное увеличение | 6x~1000000x Отрицательное истинное увеличение |
| Электронная пушка | Картридж с предварительно отцентрованной вольфрамовой нитью | Полевой эмиссионный пистолет Шоттки | Полевой эмиссионный пистолет Шоттки |
| Напряжение | Ускоряющее напряжение 0~30кВ, плавная регулировка, шаг регулировки 100В@0-10кВ, 1кВ@10-30кВ | ||
| Быстрый просмотр | Одна ключевая функция быстрого просмотра изображения | Н/Д | Н/Д |
| Система линз | Трехуровневая электромагнитная коническая линза | Многоуровневая электромагнитная коническая линза | |
| Диафрагма | 3 апертуры объектива из молибдена, регулируемые вне вакуумной системы, нет необходимости разбирать объектив, чтобы изменить апертуру | ||
| Вакуумная система | 1 турбомолекулярный насос 1 механический насос Вакуум в комнате для образцов> 2,6E-3Pa Вакуум в помещении с электронной пушкой> 2,6E-3Pa Полностью автоматическое управление вакуумом Функция вакуумной блокировки Дополнительная модель: A63.7069-LV 1 турбомолекулярный насос 2Механические насосы Вакуум в комнате для образцов> 2,6E-3Pa Вакуум в помещении с электронной пушкой> 2,6E-3Pa Полностью автоматическое управление вакуумом Функция вакуумной блокировки Низкий вакуумДиапазон 10~270 Па для быстрого переключения за 90 секунд для BSE (LV) |
1 комплект ионного насоса 1 турбомолекулярный насос 1 механический насос Вакуум в комнате для образцов> 6E-4Pa Вакуум в помещении с электронной пушкой> 2E-7 Па Полностью автоматическое управление вакуумом Функция вакуумной блокировки |
1 распыляющий ионный насос 1 геттерный ионный насос 1 турбомолекулярный насос 1 механический насос Вакуум в комнате для образцов> 6E-4Pa Вакуум в помещении с электронной пушкой> 2E-7 Па Полностью автоматическое управление вакуумом Функция вакуумной блокировки |
| Детектор | ЮВ: Высоковакуумный детектор вторичных электронов (с защитой детектора) | ЮВ: Высоковакуумный детектор вторичных электронов (с защитой детектора) | ЮВ: Высоковакуумный детектор вторичных электронов (с защитой детектора) |
| ГЭКРС: Сегментация полупроводников 4 Детектор обратного рассеяния Дополнительная модель: A63.7069-LV ГЭКРС (LV): Сегментация полупроводников 4 Детектор обратного рассеяния |
По желанию | По желанию | |
| ПЗС:Инфракрасная ПЗС-камера | ПЗС:Инфракрасная ПЗС-камера | ПЗС:Инфракрасная ПЗС-камера | |
| Расширить порт | 2 Расширить порты в комнате для проб ЭДС, БСД, ВДС и т.д. |
4 Расширение портов в комнате для проб BSE, EDS, BSD, WDS и т. д. |
4 Расширение портов в комнате для проб BSE, EDS, BSD, WDS и т. д. |
| Стадия образца | Этап 5 осей, 4Авто+1РуководствоКонтроль Диапазон путешествий: Х=70мм, Y=50мм, Z=45мм, R=360°, T=-5°~+90°(ручной) Сенсорное оповещение и функция остановки |
5 осейАвто Серединастадия Диапазон путешествий: Х=80мм, Y=50мм, Z=30мм, R=360°, T=-5°~+70° Сенсорное оповещение и функция остановки Дополнительная модель: А63.7080-М5 осейРуководствостадия А63.7080-Л5 осейАвто Большойстадия |
5 осейАвто Большойстадия Диапазон путешествий: Х=150 мм, Y=150 мм, Z=60 мм, R=360°, T=-5°~+70° Сенсорное оповещение и функция остановки |
| Максимальный образец | Диаметр 175 мм, высота 35 мм | Диаметр 175 мм, высота 20 мм | Диаметр 340 мм, высота 50 мм |
| Система изображений | Максимальное разрешение реального неподвижного изображения 4096x4096 пикселей, Формат файла изображения: BMP (по умолчанию), GIF, JPG, PNG, TIF |
Максимальное разрешение реального неподвижного изображения 16384x16384 пикселей, Формат файла изображения: TIF (по умолчанию), BMP, GIF, JPG, PNG Видео: Автоматическая запись цифрового видео .AVI |
Максимальное разрешение реального неподвижного изображения 16384x16384 пикселей, Формат файла изображения: TIF (по умолчанию), BMP, GIF, JPG, PNG Видео: Автоматическая запись цифрового видео .AVI |
| Компьютерное программное обеспечение | Рабочая станция ПК Система Win 10 с профессиональным программным обеспечением для анализа изображений для полного контроля над работой микроскопа SEM, спецификация компьютера не менее Inter I5 3,2 ГГц, память 4G, ЖК-монитор 24 дюйма IPS, жесткий диск 500G, мышь, клавиатура | ||
| Фото Дисплей | Уровень изображения богатый и тщательный, показывает увеличение в реальном времени, линейку, напряжение, серую кривую | ||
| Измерение & Масса |
Корпус микроскопа 800х800х1850мм Рабочий стол 1340х850х740мм Общий вес 400 кг |
Корпус микроскопа 800x800x1480мм Рабочий стол 1340х850х740мм Общий вес 450 кг |
Корпус микроскопа 1000x1000x1730мм Рабочий стол 1330х850х740мм Общий вес 550 кг |
| дополнительные аксессуары | |||
| дополнительные аксессуары | А50.7002Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр EDS А50.7011Ионное напыление |
А50.7001Детектор электронов обратного рассеяния BSE А50.7002Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр EDS А50.7011Ионное напыление А50.7030Моторизованная панель управления |
А50.7001Детектор электронов обратного рассеяния BSE А50.7002Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр EDS А50.7011Ионное напыление А50.7030Моторизованная панель управления |
| А50.7001 | Детектор коровьей энцефалопатии | Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния; Доступен в составе ингредиентов A+B, информация о морфологии AB; Доступный образец наблюдения без напыления золота; Доступно при наблюдении за примесями и распределением непосредственно на карте оттенков серого. |
| А50.7002 | EDS (детектор рентгеновского излучения) | Окно из нитрида кремния (Si3N4) для оптимизации передачи рентгеновских лучей с низким энергопотреблением для анализа легких элементов; Отличное разрешение и передовая электроника с низким уровнем шума обеспечивают выдающуюся пропускную способность; Небольшой размер обеспечивает гибкость для обеспечения идеальной геометрии и условий сбора AATA; Детекторы содержат чип размером 30 мм2. |
| А50.7003 | EBSD (дифракция обратно рассеянного электронного луча) | пользователь может анализировать ориентацию кристаллов, кристаллическую фазу и микротекстуру материалов, а также характеристики связанных материалов и т. д. автоматическая оптимизация настроек камеры EBSD во время сбора данных проводить интерактивный анализ в режиме реального времени, чтобы получить максимум информации все данные были брендированы временной меткой, которую можно просмотреть в любое время высокое разрешение 1392 х 1040 х 12 Скорость сканирования и индексации: 198 точек/сек, с никелем в качестве стандарта, при условии 2~5 нА скорость индексации может быть ≥99%; хорошо работает в условиях низкого тока луча и низкого напряжения 5 кВ при 100 пА точность измерения ориентации: лучше 0,1 градуса Использование тройной индексной системы: нет необходимости полагаться на однополосное определение, простая индексация плохого качества шаблона. специальная база данных: специальная база данных EBSD, полученная методом электронной дифракции: >400 фазовых структур Возможность индексирования: он может автоматически индексировать все кристаллические материалы 7 кристаллических систем. Расширенные опции включают в себя расчет упругой жесткости (Elastic Stiffness), коэффициента Тейлора (Taylor), коэффициента Шмидта (Schmid) и так далее. |
| А50.7010 | Лакировочная машина | Стеклянная защитная оболочка: ∮250 мм;высота 340 мм; Камера обработки стекла: ∮88мм;высота 140 мм, ∮88 мм;высота 57 мм; Размер предметного столика: ∮40 мм (макс.); Вакуумная система: молекулярный насос и механический насос; Обнаружение вакуума: Датчик Пирани; Вакуум: лучше, чем 2 х 10-3 Па; Вакуумная защита: 20 Па с микроклапаном для надувания; Движение образца: вращение плоскости, прецессия наклона. |
| А50.7011 | Ионное напыление | Камера обработки стекла: ∮100 мм;высота 130 мм; Размер предметного столика: ∮40 мм (удерживает 6 чашек для образцов); Размер золотой мишени: ∮58 мм * 0,12 мм (толщина); Обнаружение вакуума: Датчик Пирани; Вакуумная защита: 20 Па с микроклапаном для надувания; Средний газ: аргон или воздух со специальным впускным отверстием для газа аргона и регулированием газа в микромасштабе. |
| А50.7012 | Устройство для нанесения покрытий ионами аргона | Образец был покрыт углеродом и золотом под высоким вакуумом; Вращающийся стол для образцов, равномерное покрытие, размер частиц около 3-5 нм; Без выбора целевого материала, без повреждения образцов; Могут быть реализованы функции очистки ионов и разбавления ионов. |
| А50.7013 | Осушитель критической точки | Внутренний диаметр: 82 мм, внутренняя длина: 82 мм; Диапазон давления: 0-2000 фунтов на квадратный дюйм; Диапазон температур: 0–50 °C (32–122 °F) |
| А50.7014 | Электронно-лучевая литография | На основе сканирующего электронного микроскопа была разработана новая система наноэкспозиции; Модификация сохранила все функции SEM для создания наноразмерного изображения ширины линии; Модифицированная система Ebl широко применяется в микроэлектронных устройствах, оптоэлектронных устройствах, устройствах Quantun, исследованиях и разработках систем микроэлектроники. |
| Стандартные расходные материалы A63.7080, A63.7081 | |||
| 1 | Полевая эмиссионная нить | Установлен в микроскоп | 1 шт. |
| 2 | Кубок для образцов | Диаметр 13 мм | 5 шт. |
| 3 | Кубок для образцов | Диаметр 32 мм | 5 шт. |
| 4 | Углеродная двухсторонняя проводящая лента | 6мм | 1 пакет |
| 5 | Вакуумная смазка | 10 шт | |
| 6 | Безволосая ткань | 1 трубка | |
| 7 | Полировочная паста | 1 шт. | |
| 8 | Коробка с образцами | 2 сумки | |
| 9 | Ватный тампон | 1 шт. | |
| 10 | Фильтр масляного тумана | 1 шт. | |
| A63.7080, A63.7081 Стандартный комплект инструментов и запасных частей | |||
| 1 | Внутренний шестигранный ключ | 1,5 мм~10 мм | 1 комплект |
| 2 | Пинцет | Длина 100-120мм | 1 шт. |
| 3 | Шлицевая отвертка | 2*50мм, 2*125мм | 2 шт. |
| 4 | Крестовая отвертка | 2*125 мм | 1 шт. |
| 5 | Очистите вентиляционную трубу | Диаметр 10/6,5 мм (внешний диаметр/внутренний диаметр) | 5м |
| 6 | Редукционный клапан сброса давления | Выходное давление 0-0,6 МПа | 1 шт. |
| 7 | Внутренний источник питания для выпечки | 0-3А постоянного тока | 2 шт. |
| 8 | Источник питания ИБП | 10кВА | 2 шт. |
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
